科技信息
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과기신식
SCIENTIFIC & TECHNICAL INFORMATION
2011年
17期
124,100
,共2页
李寅生%张段芹%袁超%李聪%马斌强
李寅生%張段芹%袁超%李聰%馬斌彊
리인생%장단근%원초%리총%마빈강
MEMS%电容%微位移%电路%Multisim
MEMS%電容%微位移%電路%Multisim
MEMS%전용%미위이%전로%Multisim
微电容式传感器技术作为微机电系统研究和制造领域一个重要的分支,近年来在微型化、多功能化、智能化得到迅猛发展.目前该领域的研究虽然有了较大发展,但距实际应用仍存在有待进一步研究和解决的问题.本文在对目前较为常用的几种测量电路结构进行分析的基础上,选取交流激励电容-电压转换电路作为微电容检测方式.通过仿真调试和实验,对交流激励电容测量电路的关键元件参数进行了优化.
微電容式傳感器技術作為微機電繫統研究和製造領域一箇重要的分支,近年來在微型化、多功能化、智能化得到迅猛髮展.目前該領域的研究雖然有瞭較大髮展,但距實際應用仍存在有待進一步研究和解決的問題.本文在對目前較為常用的幾種測量電路結構進行分析的基礎上,選取交流激勵電容-電壓轉換電路作為微電容檢測方式.通過倣真調試和實驗,對交流激勵電容測量電路的關鍵元件參數進行瞭優化.
미전용식전감기기술작위미궤전계통연구화제조영역일개중요적분지,근년래재미형화、다공능화、지능화득도신맹발전.목전해영역적연구수연유료교대발전,단거실제응용잉존재유대진일보연구화해결적문제.본문재대목전교위상용적궤충측량전로결구진행분석적기출상,선취교류격려전용-전압전환전로작위미전용검측방식.통과방진조시화실험,대교류격려전용측량전로적관건원건삼수진행료우화.
