科技信息
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과기신식
SCIENTIFIC & TECHNICAL INFORMATION
2010年
15期
451-452
,共2页
ICP刻蚀%二级台阶%掩膜版%磁头滑块
ICP刻蝕%二級檯階%掩膜版%磁頭滑塊
ICP각식%이급태계%엄막판%자두활괴
主要研究了硬盘磁头滑块二级台阶的刻蚀实验.首先研究了ICP刻蚀的刻蚀原理,然后根据二级台阶掩模版的设计要求,设计出掩膜版的图形,并通过ICP刻蚀机加工出磁头滑块.结果表明所提出的二级台阶的刻蚀工艺是合理的,且具有普遍性.
主要研究瞭硬盤磁頭滑塊二級檯階的刻蝕實驗.首先研究瞭ICP刻蝕的刻蝕原理,然後根據二級檯階掩模版的設計要求,設計齣掩膜版的圖形,併通過ICP刻蝕機加工齣磁頭滑塊.結果錶明所提齣的二級檯階的刻蝕工藝是閤理的,且具有普遍性.
주요연구료경반자두활괴이급태계적각식실험.수선연구료ICP각식적각식원리,연후근거이급태계엄모판적설계요구,설계출엄막판적도형,병통과ICP각식궤가공출자두활괴.결과표명소제출적이급태계적각식공예시합리적,차구유보편성.
