北京师范大学学报（自然科学版）
北京師範大學學報（自然科學版）
북경사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF BEIJING NORMAL UNIVERSITY
2000年
2期
200-204
,共5页
肖志松%徐飞%程国安%易仲珍%张通和
肖誌鬆%徐飛%程國安%易仲珍%張通和
초지송%서비%정국안%역중진%장통화
离子注入%硅化物%物相%表面形貌
離子註入%硅化物%物相%錶麵形貌
리자주입%규화물%물상%표면형모
用MEVVA离子源将La离子注入到单晶硅中形成掺杂层,用XRD,SEM分析了掺杂层的物相和表面形貌.分析结果表明,在强流离子注入后,掺杂层中有硅化物形成,且形成相的种类与注量、束流密度及后续热处理条件密切相关.对La硅化物的形成过程进行了讨论.
用MEVVA離子源將La離子註入到單晶硅中形成摻雜層,用XRD,SEM分析瞭摻雜層的物相和錶麵形貌.分析結果錶明,在彊流離子註入後,摻雜層中有硅化物形成,且形成相的種類與註量、束流密度及後續熱處理條件密切相關.對La硅化物的形成過程進行瞭討論.
용MEVVA리자원장La리자주입도단정규중형성참잡층,용XRD,SEM분석료참잡층적물상화표면형모.분석결과표명,재강류리자주입후,참잡층중유규화물형성,차형성상적충류여주량、속류밀도급후속열처리조건밀절상관.대La규화물적형성과정진행료토론.
