北京师范大学学报（自然科学版）
北京師範大學學報（自然科學版）
북경사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF BEIJING NORMAL UNIVERSITY
2004年
6期
765-768
,共4页
磁过滤阴极真空弧沉积(FVAPD)%均匀性%质子激发的X射线能谱分析(PIXE)
磁過濾陰極真空弧沉積(FVAPD)%均勻性%質子激髮的X射線能譜分析(PIXE)
자과려음겁진공호침적(FVAPD)%균균성%질자격발적X사선능보분석(PIXE)
采用质子激发的X射线能谱分析(PIXE)方法对磁过滤阴极真空弧沉积(FVAPD)装置在Al板上合成Ti膜相对厚度进行了测量,给出了沉积靶室中不同位置大面积合成薄膜的均匀性.通过同背散射分析(RBS)测量结果的比较表明:利用在轻衬底上合成重元素薄膜的PIXE分析可以快速、无损和精确地测量FVAPD装置合成薄膜的均匀性.
採用質子激髮的X射線能譜分析(PIXE)方法對磁過濾陰極真空弧沉積(FVAPD)裝置在Al闆上閤成Ti膜相對厚度進行瞭測量,給齣瞭沉積靶室中不同位置大麵積閤成薄膜的均勻性.通過同揹散射分析(RBS)測量結果的比較錶明:利用在輕襯底上閤成重元素薄膜的PIXE分析可以快速、無損和精確地測量FVAPD裝置閤成薄膜的均勻性.
채용질자격발적X사선능보분석(PIXE)방법대자과려음겁진공호침적(FVAPD)장치재Al판상합성Ti막상대후도진행료측량,급출료침적파실중불동위치대면적합성박막적균균성.통과동배산사분석(RBS)측량결과적비교표명:이용재경츤저상합성중원소박막적PIXE분석가이쾌속、무손화정학지측량FVAPD장치합성박막적균균성.
