现代电子技术
現代電子技術
현대전자기술
MODERN ELECTRONICS TECHNIQUE
2007年
5期
192-194
,共3页
苏全振%闫钿%唐守勤%郭婺
囌全振%閆鈿%唐守勤%郭婺
소전진%염전%당수근%곽무
神经网络%PID%单晶炉%80C196KB
神經網絡%PID%單晶爐%80C196KB
신경망락%PID%단정로%80C196KB
在单晶硅生产过程中,对单晶硅坩埚旋转速度有十分严格的要求.针对实际情况,本文采用神经网络自适应PID控制算法,通过80C196KB单片机实现对单晶炉的坩埚旋转速度精确平稳的控制.通过与模糊PID及传统PID算法比较表明,该方法在坩埚旋转过程中控制效果及抗干扰能力优于另两种控制方法.
在單晶硅生產過程中,對單晶硅坩堝鏇轉速度有十分嚴格的要求.針對實際情況,本文採用神經網絡自適應PID控製算法,通過80C196KB單片機實現對單晶爐的坩堝鏇轉速度精確平穩的控製.通過與模糊PID及傳統PID算法比較錶明,該方法在坩堝鏇轉過程中控製效果及抗榦擾能力優于另兩種控製方法.
재단정규생산과정중,대단정규감과선전속도유십분엄격적요구.침대실제정황,본문채용신경망락자괄응PID공제산법,통과80C196KB단편궤실현대단정로적감과선전속도정학평은적공제.통과여모호PID급전통PID산법비교표명,해방법재감과선전과정중공제효과급항간우능력우우령량충공제방법.
