中国科技信息
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중국과기신식
CHINA SCIENCE AND TECHNOLOGY INFORMATION
2009年
15期
42-43
,共2页
直流溅射%Al/Pb多层膜%纳米材料%性能
直流濺射%Al/Pb多層膜%納米材料%性能
직류천사%Al/Pb다층막%납미재료%성능
本文采用直流溅射法制备了具有一定调制波长的金属多层膜,通过X衍射实验和电镜扫描实验,对其性能进行了测试,并对实验中出现的在特定调制周期时衍射峰完全消失和Al的衍射峰不出现的现象进行了理论探讨.
本文採用直流濺射法製備瞭具有一定調製波長的金屬多層膜,通過X衍射實驗和電鏡掃描實驗,對其性能進行瞭測試,併對實驗中齣現的在特定調製週期時衍射峰完全消失和Al的衍射峰不齣現的現象進行瞭理論探討.
본문채용직류천사법제비료구유일정조제파장적금속다층막,통과X연사실험화전경소묘실험,대기성능진행료측시,병대실험중출현적재특정조제주기시연사봉완전소실화Al적연사봉불출현적현상진행료이론탐토.
