科技信息（科学·教研）
科技信息（科學·教研）
과기신식（과학·교연）
SCIENCE INFORMATION
2007年
2期
15-16
,共2页
冯侨华%施云波%殷景华%郭建英
馮僑華%施雲波%慇景華%郭建英
풍교화%시운파%은경화%곽건영
磁控溅射%薄膜%铂%微观袁征
磁控濺射%薄膜%鉑%微觀袁徵
자공천사%박막%박%미관원정
在氢气的气氛中采用直流磁控溅射方法,在玻璃基片上制备铂薄膜热敏电阻,并对铂薄膜的微观组织进行分析,同时研究了磁控溅射镀膜工艺参数对制备铂薄膜的影响,分析了参数中溅射功率、溅射时间与膜厚的关系.并利用Matlab软件建立了溅射时间、溅射功率与膜厚的三维关系模型图.
在氫氣的氣氛中採用直流磁控濺射方法,在玻璃基片上製備鉑薄膜熱敏電阻,併對鉑薄膜的微觀組織進行分析,同時研究瞭磁控濺射鍍膜工藝參數對製備鉑薄膜的影響,分析瞭參數中濺射功率、濺射時間與膜厚的關繫.併利用Matlab軟件建立瞭濺射時間、濺射功率與膜厚的三維關繫模型圖.
재경기적기분중채용직류자공천사방법,재파리기편상제비박박막열민전조,병대박박막적미관조직진행분석,동시연구료자공천사도막공예삼수대제비박박막적영향,분석료삼수중천사공솔、천사시간여막후적관계.병이용Matlab연건건립료천사시간、천사공솔여막후적삼유관계모형도.
