现代电子技术
現代電子技術
현대전자기술
MODERN ELECTRONICS TECHNIQUE
2009年
16期
22-24
,共3页
互连线%几何变异提取%可制造性设计%参数成品率%测试结构
互連線%幾何變異提取%可製造性設計%參數成品率%測試結構
호련선%궤하변이제취%가제조성설계%삼수성품솔%측시결구
硅片上互连线几何变异提取对于超深亚微米工艺节点下集成电路可制造性设计研究开发极其关键.这里基于电阻和电容等电学测试结构相应的数学计算公式,阐述进行互连线几何变异提取的方法,分析所采用的测试结构与计算公式的可行性,讨论误差来源,提出仿真工作与测试芯片设计原则.目的在于解决工艺建模与寄生参数建模过程中电阻和电容变异之间紧密的空间相关性,从而易于建立用于集成电路参数成品率评估计算的可制造性设计模型.
硅片上互連線幾何變異提取對于超深亞微米工藝節點下集成電路可製造性設計研究開髮極其關鍵.這裏基于電阻和電容等電學測試結構相應的數學計算公式,闡述進行互連線幾何變異提取的方法,分析所採用的測試結構與計算公式的可行性,討論誤差來源,提齣倣真工作與測試芯片設計原則.目的在于解決工藝建模與寄生參數建模過程中電阻和電容變異之間緊密的空間相關性,從而易于建立用于集成電路參數成品率評估計算的可製造性設計模型.
규편상호련선궤하변이제취대우초심아미미공예절점하집성전로가제조성설계연구개발겁기관건.저리기우전조화전용등전학측시결구상응적수학계산공식,천술진행호련선궤하변이제취적방법,분석소채용적측시결구여계산공식적가행성,토론오차래원,제출방진공작여측시심편설계원칙.목적재우해결공예건모여기생삼수건모과정중전조화전용변이지간긴밀적공간상관성,종이역우건립용우집성전로삼수성품솔평고계산적가제조성설계모형.
