技术与市场
技術與市場
기술여시장
TECHNOLOGY AND MARKET
2011年
5期
120
,共1页
微电子机械系统%体微加工%表面微加工%LIGA
微電子機械繫統%體微加工%錶麵微加工%LIGA
미전자궤계계통%체미가공%표면미가공%LIGA
微电子机械系统是一项建立在微纳米技术基础上的前沿技术,是对微纳米材料进行设计、加工、制造和控制的技术.硅微机械加工工艺是近年来随着集成电路工艺发展起来的微电子机械系统主流技术.介绍了微电子机械系统的特点,并讨论了微电子机械系统的三种加工方法.
微電子機械繫統是一項建立在微納米技術基礎上的前沿技術,是對微納米材料進行設計、加工、製造和控製的技術.硅微機械加工工藝是近年來隨著集成電路工藝髮展起來的微電子機械繫統主流技術.介紹瞭微電子機械繫統的特點,併討論瞭微電子機械繫統的三種加工方法.
미전자궤계계통시일항건립재미납미기술기출상적전연기술,시대미납미재료진행설계、가공、제조화공제적기술.규미궤계가공공예시근년래수착집성전로공예발전기래적미전자궤계계통주류기술.개소료미전자궤계계통적특점,병토론료미전자궤계계통적삼충가공방법.
