计算机工程与应用
計算機工程與應用
계산궤공정여응용
COMPUTER ENGINEERING AND APPLICATIONS
2004年
35期
192-195
,共4页
Petri%网%半导体制造%建模
Petri%網%半導體製造%建模
Petri%망%반도체제조%건모
论文提出了一种分层Petri网模型用于半导体生产线建模.首先,总结了Petri网在半导体生产线建模中的应用,继而给出了分层Petri网的定义及其建模过程.最后以一个典型的半导体生产线为例,进行该方法的应用研究.
論文提齣瞭一種分層Petri網模型用于半導體生產線建模.首先,總結瞭Petri網在半導體生產線建模中的應用,繼而給齣瞭分層Petri網的定義及其建模過程.最後以一箇典型的半導體生產線為例,進行該方法的應用研究.
논문제출료일충분층Petri망모형용우반도체생산선건모.수선,총결료Petri망재반도체생산선건모중적응용,계이급출료분층Petri망적정의급기건모과정.최후이일개전형적반도체생산선위례,진행해방법적응용연구.
