科技信息
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과기신식
SCIENTIFIC & TECHNICAL INFORMATION
2011年
25期
46,49
,共2页
多晶硅%传递速率%接触面积%氧沉淀%对流%扩散%保护层%纯度%利用率
多晶硅%傳遞速率%接觸麵積%氧沉澱%對流%擴散%保護層%純度%利用率
다정규%전체속솔%접촉면적%양침정%대류%확산%보호층%순도%이용솔
定向凝固法生长铸造多晶硅系统中,氧的平衡涉及到三个界面,它们是坩埚与熔体界面、熔体与气相界面以及晶体与熔体界面.因此氧的传递包含可能的三个过程:(1)氧从坩埚中向硅熔体中进行扩散；(2)氧的分凝导致氧从熔体中进入凝固的晶体中；(3)氧在熔体表面以SiO的形式挥发.
定嚮凝固法生長鑄造多晶硅繫統中,氧的平衡涉及到三箇界麵,它們是坩堝與鎔體界麵、鎔體與氣相界麵以及晶體與鎔體界麵.因此氧的傳遞包含可能的三箇過程:(1)氧從坩堝中嚮硅鎔體中進行擴散；(2)氧的分凝導緻氧從鎔體中進入凝固的晶體中；(3)氧在鎔體錶麵以SiO的形式揮髮.
정향응고법생장주조다정규계통중,양적평형섭급도삼개계면,타문시감과여용체계면、용체여기상계면이급정체여용체계면.인차양적전체포함가능적삼개과정:(1)양종감과중향규용체중진행확산；(2)양적분응도치양종용체중진입응고적정체중；(3)양재용체표면이SiO적형식휘발.
