科学时代（上半月）
科學時代（上半月）
과학시대（상반월）
SCIENCE TIMES
2011年
8期
115-116
,共2页
掺镁铌酸锂晶体%钛扩散%刻蚀
摻鎂鈮痠鋰晶體%鈦擴散%刻蝕
참미니산리정체%태확산%각식
以掺镁铌酸锂( Mg:LiNbO3)晶体为基础,通过由Mg:LiNbO3、钛膜、Mg:LiNbO3组成的夹层结构(sandwich structure)在1050至1100 ℃的温度下,并且通湿氧的环境中进行退火,证明了Mg:LiNbO3晶体的表面刻蚀,并验证了刻蚀深度会受到初始钛膜厚度、退火温度和退火时间的作用.结果显示,最大刻蚀深度可以达到260 nm,且刻蚀表面的粗糙度小于5 nm.经过对于刻蚀参数的优化,可以获得更深的刻蚀深度.这为通信领域的相关器件制作提供了新的制作方法.
以摻鎂鈮痠鋰( Mg:LiNbO3)晶體為基礎,通過由Mg:LiNbO3、鈦膜、Mg:LiNbO3組成的夾層結構(sandwich structure)在1050至1100 ℃的溫度下,併且通濕氧的環境中進行退火,證明瞭Mg:LiNbO3晶體的錶麵刻蝕,併驗證瞭刻蝕深度會受到初始鈦膜厚度、退火溫度和退火時間的作用.結果顯示,最大刻蝕深度可以達到260 nm,且刻蝕錶麵的粗糙度小于5 nm.經過對于刻蝕參數的優化,可以穫得更深的刻蝕深度.這為通信領域的相關器件製作提供瞭新的製作方法.
이참미니산리( Mg:LiNbO3)정체위기출,통과유Mg:LiNbO3、태막、Mg:LiNbO3조성적협층결구(sandwich structure)재1050지1100 ℃적온도하,병차통습양적배경중진행퇴화,증명료Mg:LiNbO3정체적표면각식,병험증료각식심도회수도초시태막후도、퇴화온도화퇴화시간적작용.결과현시,최대각식심도가이체도260 nm,차각식표면적조조도소우5 nm.경과대우각식삼수적우화,가이획득경심적각식심도.저위통신영역적상관기건제작제공료신적제작방법.
