现代电子技术
現代電子技術
현대전자기술
MODERN ELECTRONICS TECHNIQUE
2010年
13期
1-3
,共3页
张晓升%鲍景富%杜亦佳%李仁锋
張曉升%鮑景富%杜亦佳%李仁鋒
장효승%포경부%두역가%리인봉
X波段%射频微机电%分布式移相器%机电耦合性能
X波段%射頻微機電%分佈式移相器%機電耦閤性能
X파단%사빈미궤전%분포식이상기%궤전우합성능
介绍一种应用于X波段MEMS分布式移相器的新型单元开关.MEMS分布式移相器具有高品质因数、低插损、低功耗和高隔离度的优点,但由于传统MEMS开关采用固支梁结构,弹性系数过大,下拉电压过高,无法与传统电子系统相兼容,大大限制了其应用和发展.基于此设计一种新型单元开关,采用弹性弯曲结构取代传统固支梁结构,并在MEMS金属梁上刻蚀释放孔,极大降低了单元开关的弹性系数,从而实现了超低下拉电压6 V.通过理论分析,给出MEMS开关弹性系数、下拉电压的解析公式,并使用ANSYS进行了仿真分析.
介紹一種應用于X波段MEMS分佈式移相器的新型單元開關.MEMS分佈式移相器具有高品質因數、低插損、低功耗和高隔離度的優點,但由于傳統MEMS開關採用固支樑結構,彈性繫數過大,下拉電壓過高,無法與傳統電子繫統相兼容,大大限製瞭其應用和髮展.基于此設計一種新型單元開關,採用彈性彎麯結構取代傳統固支樑結構,併在MEMS金屬樑上刻蝕釋放孔,極大降低瞭單元開關的彈性繫數,從而實現瞭超低下拉電壓6 V.通過理論分析,給齣MEMS開關彈性繫數、下拉電壓的解析公式,併使用ANSYS進行瞭倣真分析.
개소일충응용우X파단MEMS분포식이상기적신형단원개관.MEMS분포식이상기구유고품질인수、저삽손、저공모화고격리도적우점,단유우전통MEMS개관채용고지량결구,탄성계수과대,하랍전압과고,무법여전통전자계통상겸용,대대한제료기응용화발전.기우차설계일충신형단원개관,채용탄성만곡결구취대전통고지량결구,병재MEMS금속량상각식석방공,겁대강저료단원개관적탄성계수,종이실현료초저하랍전압6 V.통과이론분석,급출MEMS개관탄성계수、하랍전압적해석공식,병사용ANSYS진행료방진분석.
