科学时代
科學時代
과학시대
SCIENTIFIC EPOCH
2011年
9期
102-103
,共2页
朱筠%李恩渊%李海霞
硃筠%李恩淵%李海霞
주균%리은연%리해하
埋栅型SIT%栅极孔刻蚀%I—V特性%VGS
埋柵型SIT%柵極孔刻蝕%I—V特性%VGS
매책형SIT%책겁공각식%I—V특성%VGS
栅极孔刻蚀是要刻断栅极和源极（或阴极）之间在外延过程中形成的连体，打开栅电极区。刻蚀不足或过蚀程度太深都可能造成栅电极电压不能有效施加到栅体上，限制栅体的控制能力，影响器件的I—V特性和击穿电压VGS的大小，是影响器件成品率的一个重要因素。本文结合工艺实践，就栅极孔刻蚀对器件特性的影响进行分析。
柵極孔刻蝕是要刻斷柵極和源極（或陰極）之間在外延過程中形成的連體，打開柵電極區。刻蝕不足或過蝕程度太深都可能造成柵電極電壓不能有效施加到柵體上，限製柵體的控製能力，影響器件的I—V特性和擊穿電壓VGS的大小，是影響器件成品率的一箇重要因素。本文結閤工藝實踐，就柵極孔刻蝕對器件特性的影響進行分析。
책겁공각식시요각단책겁화원겁（혹음겁）지간재외연과정중형성적련체，타개책전겁구。각식불족혹과식정도태심도가능조성책전겁전압불능유효시가도책체상，한제책체적공제능력，영향기건적I—V특성화격천전압VGS적대소，시영향기건성품솔적일개중요인소。본문결합공예실천，취책겁공각식대기건특성적영향진행분석。
