科技信息（科学·教研）
科技信息（科學·教研）
과기신식（과학·교연）
SCIENCE INFORMATION
2007年
2期
48,95
,共2页
胡竹平%施云波%殷景华%郭建英
鬍竹平%施雲波%慇景華%郭建英
호죽평%시운파%은경화%곽건영
激光精密加工%激光划片%激光调阻%Al2O2陶瓷基体
激光精密加工%激光劃片%激光調阻%Al2O2陶瓷基體
격광정밀가공%격광화편%격광조조%Al2O2도자기체
为了掌握采用激光精密加工技术加工Al2O3陶瓷基体温度传感器的最佳工艺参数,文中采用声光调QNd:YAG激光划片机加工Al2O3陶瓷基体,研完激先划片工艺参数与Al2O3陶瓷基体上刻槽深度与宽度的关系,以及采用调阻机加工Pt薄膜电阻,研究激光调阻工艺参数与调阻精度的关系.
為瞭掌握採用激光精密加工技術加工Al2O3陶瓷基體溫度傳感器的最佳工藝參數,文中採用聲光調QNd:YAG激光劃片機加工Al2O3陶瓷基體,研完激先劃片工藝參數與Al2O3陶瓷基體上刻槽深度與寬度的關繫,以及採用調阻機加工Pt薄膜電阻,研究激光調阻工藝參數與調阻精度的關繫.
위료장악채용격광정밀가공기술가공Al2O3도자기체온도전감기적최가공예삼수,문중채용성광조QNd:YAG격광화편궤가공Al2O3도자기체,연완격선화편공예삼수여Al2O3도자기체상각조심도여관도적관계,이급채용조조궤가공Pt박막전조,연구격광조조공예삼수여조조정도적관계.
