科学时代
科學時代
과학시대
SCIENTIFIC EPOCH
2011年
10期
144-146
,共3页
铜线%键合%氧化%失效
銅線%鍵閤%氧化%失效
동선%건합%양화%실효
铜线以其相较传统金线更加良好的电器机械性能和低成本特点，在半导体引线键合工艺中开始广泛应用。但铜线易氧化的特性也在键合过程中容易带来新的失效问题。文中对这种失效机理进行了分析，并对防止铜线键合氧化进行了实验和研究。
銅線以其相較傳統金線更加良好的電器機械性能和低成本特點，在半導體引線鍵閤工藝中開始廣汎應用。但銅線易氧化的特性也在鍵閤過程中容易帶來新的失效問題。文中對這種失效機理進行瞭分析，併對防止銅線鍵閤氧化進行瞭實驗和研究。
동선이기상교전통금선경가량호적전기궤계성능화저성본특점，재반도체인선건합공예중개시엄범응용。단동선역양화적특성야재건합과정중용역대래신적실효문제。문중대저충실효궤리진행료분석，병대방지동선건합양화진행료실험화연구。
