科技信息
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과기신식
SCIENTIFIC & TECHNICAL INFORMATION
2011年
29期
550,606
,共2页
曹金辉%王波林%叶超%王欢
曹金輝%王波林%葉超%王歡
조금휘%왕파림%협초%왕환
形状记忆合金%钢珠—弹簧%微驱动薄膜%微泵
形狀記憶閤金%鋼珠—彈簧%微驅動薄膜%微泵
형상기억합금%강주—탄황%미구동박막%미빙
形状记忆合金(SMA)作为新型功能材料已广泛用于各种微电子机械系统(MEMS)中.此次研究是一种新型有阀微泵的设计.该微泵的结构简单,采用NiTi形状记忆合金薄膜作为微驱动薄膜,采用钢珠—弹簧作为单向阀的有阀微泵,钢珠和弹簧直径都为5mm,泵腔为直径10mm高为15mm的有机玻璃圆柱体.
形狀記憶閤金(SMA)作為新型功能材料已廣汎用于各種微電子機械繫統(MEMS)中.此次研究是一種新型有閥微泵的設計.該微泵的結構簡單,採用NiTi形狀記憶閤金薄膜作為微驅動薄膜,採用鋼珠—彈簧作為單嚮閥的有閥微泵,鋼珠和彈簧直徑都為5mm,泵腔為直徑10mm高為15mm的有機玻璃圓柱體.
형상기억합금(SMA)작위신형공능재료이엄범용우각충미전자궤계계통(MEMS)중.차차연구시일충신형유벌미빙적설계.해미빙적결구간단,채용NiTi형상기억합금박막작위미구동박막,채용강주—탄황작위단향벌적유벌미빙,강주화탄황직경도위5mm,빙강위직경10mm고위15mm적유궤파리원주체.
