北京师范大学学报(自然科学版)
北京師範大學學報(自然科學版)
북경사범대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF BEIJING NORMAL UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE)
2001年
5期
612-614
,共3页
朱光华%卢殿通%汪新福%周宏余
硃光華%盧殿通%汪新福%週宏餘
주광화%로전통%왕신복%주굉여
PIXE分析%晶片%污染
PIXE分析%晶片%汙染
PIXE분석%정편%오염
介绍了PIXE(质子激发X射线发射)分析技术分析硅晶片表面杂质元素的探测灵敏度和最低可探测限.用此分析技术,对在几个注入机上进行的注氧硅晶片的污染情况进行了测定.发现在有的注入机上注氧时带进了Cr, Mn, Fe, Cu等污染元素.结果表明,PIXE分析技术具有高灵敏、非破坏性等优点,十分适合在这一领域的研究中应用.
介紹瞭PIXE(質子激髮X射線髮射)分析技術分析硅晶片錶麵雜質元素的探測靈敏度和最低可探測限.用此分析技術,對在幾箇註入機上進行的註氧硅晶片的汙染情況進行瞭測定.髮現在有的註入機上註氧時帶進瞭Cr, Mn, Fe, Cu等汙染元素.結果錶明,PIXE分析技術具有高靈敏、非破壞性等優點,十分適閤在這一領域的研究中應用.
개소료PIXE(질자격발X사선발사)분석기술분석규정편표면잡질원소적탐측령민도화최저가탐측한.용차분석기술,대재궤개주입궤상진행적주양규정편적오염정황진행료측정.발현재유적주입궤상주양시대진료Cr, Mn, Fe, Cu등오염원소.결과표명,PIXE분석기술구유고령민、비파배성등우점,십분괄합재저일영역적연구중응용.
