价值工程
價值工程
개치공정
VALUE ENGINEERING
2012年
3期
25
,共1页
SiN膜%膜厚%折射率
SiN膜%膜厚%摺射率
SiN막%막후%절사솔
利用等离子体化学气相沉积的方式制备的SiN膜,总的气流量、压强、微波功率、硅烷、氨气气流量的配比,直接影响SiN膜的膜厚、折射率.本文主要针对不同厚度的SiN膜进行分析,跟踪多晶电池的转换效率,来确定最佳的SiN膜的厚度和折射率.
利用等離子體化學氣相沉積的方式製備的SiN膜,總的氣流量、壓彊、微波功率、硅烷、氨氣氣流量的配比,直接影響SiN膜的膜厚、摺射率.本文主要針對不同厚度的SiN膜進行分析,跟蹤多晶電池的轉換效率,來確定最佳的SiN膜的厚度和摺射率.
이용등리자체화학기상침적적방식제비적SiN막,총적기류량、압강、미파공솔、규완、안기기류량적배비,직접영향SiN막적막후、절사솔.본문주요침대불동후도적SiN막진행분석,근종다정전지적전환효솔,래학정최가적SiN막적후도화절사솔.
