分析化学
分析化學
분석화학
CHINESE JOURNAL OF ANALYTICAL CHEMISTRY
2010年
11期
1678-1682
,共5页
李华%唐飞%王晓浩%张亮%杨吉%王帆%徐初隆%吝涛%丁力
李華%唐飛%王曉浩%張亮%楊吉%王帆%徐初隆%吝濤%丁力
리화%당비%왕효호%장량%양길%왕범%서초륭%인도%정력
微机电系统%高场非对称波形离子迁移谱%方波射频电压
微機電繫統%高場非對稱波形離子遷移譜%方波射頻電壓
미궤전계통%고장비대칭파형리자천이보%방파사빈전압
基于微机电系统技术(Micro electro mechanical system,MEMS), 研制了微型高场非对称波形离子迁移谱(High-field asymmetric waveform ion mobility spectrometry,FAIMS)传感器芯片.芯片采用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀和两次硅-玻璃键合工艺加工,尺寸为18.8 mm×12.4 mm×1.2mm,其中迁移区尺寸为10 mm×5 mm×0.2 mm.设计了高场非对称方波电源,可输出最大频率2 MHz,电压峰-峰值1000 V,占空比20%～50%连续可调的方波射频电压.以乙醇为实验样品,分析了方波射频电压幅值对FAIMS传感器芯片性能的影响.实验表明,随着电压幅值的增加,FAIMS分辨率提高,灵敏度下降,补偿电压绝对值增大,且芯片对乙醇的检出限可达8.9 mg/m3.
基于微機電繫統技術(Micro electro mechanical system,MEMS), 研製瞭微型高場非對稱波形離子遷移譜(High-field asymmetric waveform ion mobility spectrometry,FAIMS)傳感器芯片.芯片採用感應耦閤等離子體(ICP)刻蝕和兩次硅-玻璃鍵閤工藝加工,呎吋為18.8 mm×12.4 mm×1.2mm,其中遷移區呎吋為10 mm×5 mm×0.2 mm.設計瞭高場非對稱方波電源,可輸齣最大頻率2 MHz,電壓峰-峰值1000 V,佔空比20%～50%連續可調的方波射頻電壓.以乙醇為實驗樣品,分析瞭方波射頻電壓幅值對FAIMS傳感器芯片性能的影響.實驗錶明,隨著電壓幅值的增加,FAIMS分辨率提高,靈敏度下降,補償電壓絕對值增大,且芯片對乙醇的檢齣限可達8.9 mg/m3.
기우미궤전계통기술(Micro electro mechanical system,MEMS), 연제료미형고장비대칭파형리자천이보(High-field asymmetric waveform ion mobility spectrometry,FAIMS)전감기심편.심편채용감응우합등리자체(ICP)각식화량차규-파리건합공예가공,척촌위18.8 mm×12.4 mm×1.2mm,기중천이구척촌위10 mm×5 mm×0.2 mm.설계료고장비대칭방파전원,가수출최대빈솔2 MHz,전압봉-봉치1000 V,점공비20%～50%련속가조적방파사빈전압.이을순위실험양품,분석료방파사빈전압폭치대FAIMS전감기심편성능적영향.실험표명,수착전압폭치적증가,FAIMS분변솔제고,령민도하강,보상전압절대치증대,차심편대을순적검출한가체8.9 mg/m3.
