科技信息
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과기신식
SCIENTIFIC & TECHNICAL INFORMATION
2009年
7期
18-19
,共2页
离子源电源%双直流%逆变
離子源電源%雙直流%逆變
리자원전원%쌍직류%역변
离子束辅助镀膜沉积过程中,绝缘薄膜上的电荷积累效应严重影响了薄膜质量,通过对宽束冷阴极离子源的改进,引出极采用交变电压分时引出电子和离子.以消除薄膜表面的电荷积累现象.引出极电源由两个直流电源模块、4只IGBT组成的全桥逆变模块和主控制器组成.通过电压幅值可调的直流模块向全桥逆变模块提供电压,调整全桥逆变模块触发脉冲的宽度,即可生成电压幅值扣占空比可调的交变方波电压,实验验证在离子源引出极加交变方波电压可使离子和电子在薄膜表面迭到很好的中和效果.
離子束輔助鍍膜沉積過程中,絕緣薄膜上的電荷積纍效應嚴重影響瞭薄膜質量,通過對寬束冷陰極離子源的改進,引齣極採用交變電壓分時引齣電子和離子.以消除薄膜錶麵的電荷積纍現象.引齣極電源由兩箇直流電源模塊、4隻IGBT組成的全橋逆變模塊和主控製器組成.通過電壓幅值可調的直流模塊嚮全橋逆變模塊提供電壓,調整全橋逆變模塊觸髮脈遲的寬度,即可生成電壓幅值釦佔空比可調的交變方波電壓,實驗驗證在離子源引齣極加交變方波電壓可使離子和電子在薄膜錶麵迭到很好的中和效果.
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