中国科技信息
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중국과기신식
CHINA SCIENCE AND TECHNOLOGY INFORMATION
2013年
18期
137
,共1页
离子注入机%故障%剂量%真空
離子註入機%故障%劑量%真空
리자주입궤%고장%제량%진공
本文对半导体生产中用到的离子注入机进行了简单的介绍,对离子注入机使用过程中可能遇到的各类故障加以归类,并结合一些实际维修过程中遇到的故障现象来分析探讨.
本文對半導體生產中用到的離子註入機進行瞭簡單的介紹,對離子註入機使用過程中可能遇到的各類故障加以歸類,併結閤一些實際維脩過程中遇到的故障現象來分析探討.
본문대반도체생산중용도적리자주입궤진행료간단적개소,대리자주입궤사용과정중가능우도적각류고장가이귀류,병결합일사실제유수과정중우도적고장현상래분석탐토.
