中国科技信息
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중국과기신식
CHINA SCIENCE AND TECHNOLOGY INFORMATION
2008年
20期
28-29
,共2页
袁珂%郝会颖%郑志远%黄强%张鸿儒
袁珂%郝會穎%鄭誌遠%黃彊%張鴻儒
원가%학회영%정지원%황강%장홍유
纳秒激光%硅薄膜%喇曼光谱
納秒激光%硅薄膜%喇曼光譜
납초격광%규박막%나만광보
采用Nd:YAG纳秒脉冲激光.在不同能量下对沉积在石英衬底上的非晶硅薄膜进行辐照.光学显微镜,透射电镜、微区喇曼光谱分析表明,在能量50-60mJ/cm2辐照下,可制备出具有周期性排列的条纹结构,能量过大会使薄膜受损,激光辐照后薄膜组织的有序度提高.
採用Nd:YAG納秒脈遲激光.在不同能量下對沉積在石英襯底上的非晶硅薄膜進行輻照.光學顯微鏡,透射電鏡、微區喇曼光譜分析錶明,在能量50-60mJ/cm2輻照下,可製備齣具有週期性排列的條紋結構,能量過大會使薄膜受損,激光輻照後薄膜組織的有序度提高.
채용Nd:YAG납초맥충격광.재불동능량하대침적재석영츤저상적비정규박막진행복조.광학현미경,투사전경、미구나만광보분석표명,재능량50-60mJ/cm2복조하,가제비출구유주기성배렬적조문결구,능량과대회사박막수손,격광복조후박막조직적유서도제고.
