CAJ | 학술논문

设计了一种由微电路组件和放电室等构成的微型ICP(Inductively coupled plasma)激发源.微电路组件刻蚀在一块PCB(Printed circuit board)上,包括平面螺旋线圈、平面交指的谐振电容和阻抗匹配电容,表面镀金处理.放电室为不锈钢圆柱体,一侧为石英玻璃出光口,另一侧以氟橡胶0型密封环与微电路组件真空吸合,辅以真空、进气装置.采用100 Pa氩气工作,RF(Radio frequency)功率5～20 W,频率13.56 MHz.采用该激发源和爱万提斯AvaSpec-ULS3648光纤光谱仪等搭建成微型ICP光谱仪,对甲烷、乙炔样品进行激发测试,检测到乙炔基团(C≡C 471.52 nm,C≡C 516.52 nm等)、甲烷基团(CH3+ 348.4 nm,C≡C512.9 nm等).表明微型ICP激发源对乙炔和甲烷样品具有激发能力,可用于定性分析.此微型ICP激发源体积小、成本低、载气耗量小,随着研究的深入,该微型ICP激发源有望成为一种新的光谱仪气体样品激发源.
설계료일충유미전로조건화방전실등구성적미형ICP(Inductively coupled plasma)격발원.미전로조건각식재일괴PCB(Printed circuit board)상,포괄평면라선선권、평면교지적해진전용화조항필배전용,표면도금처리.방전실위불수강원주체,일측위석영파리출광구,령일측이불상효0형밀봉배여미전로조건진공흡합,보이진공、진기장치.채용100 Pa아기공작,RF(Radio frequency)공솔5～20 W,빈솔13.56 MHz.채용해격발원화애만제사AvaSpec-ULS3648광섬광보의등탑건성미형ICP광보의,대갑완、을결양품진행격발측시,검측도을결기단(C≡C 471.52 nm,C≡C 516.52 nm등)、갑완기단(CH3+ 348.4 nm,C≡C512.9 nm등).표명미형ICP격발원대을결화갑완양품구유격발능력,가용우정성분석.차미형ICP격발원체적소、성본저、재기모량소,수착연구적심입,해미형ICP격발원유망성위일충신적광보의기체양품격발원.