中国科技信息
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중국과기신식
CHINA SCIENCE AND TECHNOLOGY INFORMATION
2008年
15期
40-41
,共2页
纳米硅薄膜%溅射%制备
納米硅薄膜%濺射%製備
납미규박막%천사%제비
纳米硅(nc-Si:H)薄膜被视为新型硅基薄膜太阳能电池的核心材料.本文从溅射工艺,沉积过程、结构特征方面对溅射法制备纳米硅薄膜的研究进展作了综述.
納米硅(nc-Si:H)薄膜被視為新型硅基薄膜太暘能電池的覈心材料.本文從濺射工藝,沉積過程、結構特徵方麵對濺射法製備納米硅薄膜的研究進展作瞭綜述.
납미규(nc-Si:H)박막피시위신형규기박막태양능전지적핵심재료.본문종천사공예,침적과정、결구특정방면대천사법제비납미규박막적연구진전작료종술.
