科技信息
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과기신식
SCIENTIFIC & TECHNICAL INFORMATION
2010年
17期
27,24
,共2页
靶材%利用率%磁控溅射%磁场
靶材%利用率%磁控濺射%磁場
파재%이용솔%자공천사%자장
本文根据进口磁控镀膜玻璃生产线使用、维护经验,详细论述了通过调整阴极靶材磁场,如何有效增强靶材利用率.
本文根據進口磁控鍍膜玻璃生產線使用、維護經驗,詳細論述瞭通過調整陰極靶材磁場,如何有效增彊靶材利用率.
본문근거진구자공도막파리생산선사용、유호경험,상세논술료통과조정음겁파재자장,여하유효증강파재이용솔.
