CAJ | 학술논문

随着微机电系统（MEMS）技术的不断发展，MEMS陀螺仪技术逐渐成为当前研究的热点技术。MEMS陀螺仪具有成本低、体积小、功耗低、高可靠性等优点，随着MEMS技术的发展，它的成本不断降低，精度却不断提高，在国防工业和汽车工业中应用非常广泛。本文简要的介绍了MEMS陀螺仪的概念和特征，分析了MEMS陀螺仪的发展现状，研究了MEMS陀螺仪的主要技术，研究了MEMS陀螺仪的一些技术性能的优化，总结了MEMS陀螺仪的发展趋势。
수착미궤전계통（MEMS）기술적불단발전，MEMS타라의기술축점성위당전연구적열점기술。MEMS타라의구유성본저、체적소、공모저、고가고성등우점，수착MEMS기술적발전，타적성본불단강저，정도각불단제고，재국방공업화기차공업중응용비상엄범。본문간요적개소료MEMS타라의적개념화특정，분석료MEMS타라의적발전현상，연구료MEMS타라의적주요기술，연구료MEMS타라의적일사기술성능적우화，총결료MEMS타라의적발전추세。