中国科技信息
中國科技信息
중국과기신식
CHINA SCIENCE AND TECHNOLOGY INFORMATION
2014年
10期
46-47
,共2页
纳米硅%质谱仪%金属辅助刻蚀
納米硅%質譜儀%金屬輔助刻蝕
납미규%질보의%금속보조각식
近几年纳米技术成为一项新兴热门的研究方向,并在多个领域取得瞩目的成就.将纳米硅运用于质谱仪分析技术中是纳米技术的一个创新方向与发展前景.从纳米技术的背景和质谱仪的检测原理入手,详细说明了两者的创新结合方式与该项技术的实际运用和优点.
近幾年納米技術成為一項新興熱門的研究方嚮,併在多箇領域取得矚目的成就.將納米硅運用于質譜儀分析技術中是納米技術的一箇創新方嚮與髮展前景.從納米技術的揹景和質譜儀的檢測原理入手,詳細說明瞭兩者的創新結閤方式與該項技術的實際運用和優點.
근궤년납미기술성위일항신흥열문적연구방향,병재다개영역취득촉목적성취.장납미규운용우질보의분석기술중시납미기술적일개창신방향여발전전경.종납미기술적배경화질보의적검측원리입수,상세설명료량자적창신결합방식여해항기술적실제운용화우점.
