CAJ | 학술논문

目前最新的组件结构均采用低介电常数材料及铜导线技术来降低多层金属联机中时间延迟效应。低介电常数材料多为组织松散，机械强度不理想，故低介电常数材料是多层金属导线，外力将易于跨越材料之降伏强度，势必导致断线之危机，进而破坏组件的运作。针对低介电常数材料的机械性质，首先探讨低介电常数材料本身的机械性质；其次探讨低介电常数材料和相邻材料的附着性质。
목전최신적조건결구균채용저개전상수재료급동도선기술래강저다층금속련궤중시간연지효응。저개전상수재료다위조직송산，궤계강도불이상，고저개전상수재료시다층금속도선，외력장역우과월재료지강복강도，세필도치단선지위궤，진이파배조건적운작。침대저개전상수재료적궤계성질，수선탐토저개전상수재료본신적궤계성질；기차탐토저개전상수재료화상린재료적부착성질。