科学时代
科學時代
과학시대
SCIENTIFIC EPOCH
2014年
7期
,共1页
超大规模集成电路%制程%仿真
超大規模集成電路%製程%倣真
초대규모집성전로%제정%방진
紫外光曝光是超大规模集成电路制程中关键的一个步骤，本文是紫外光曝光后的制程的仿真研究，将讨论其模拟过程的的物理化学制程过程。
紫外光曝光是超大規模集成電路製程中關鍵的一箇步驟，本文是紫外光曝光後的製程的倣真研究，將討論其模擬過程的的物理化學製程過程。
자외광폭광시초대규모집성전로제정중관건적일개보취，본문시자외광폭광후적제정적방진연구，장토론기모의과정적적물이화학제정과정。
