科技信息
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과기신식
SCIENTIFIC & TECHNICAL INFORMATION
2013年
18期
488-489
,共2页
薄膜/基底结构%失配应力%非均匀热载荷%Stoney公式
薄膜/基底結構%失配應力%非均勻熱載荷%Stoney公式
박막/기저결구%실배응력%비균균열재하%Stoney공식
在固体力学领域,薄膜/基体结构的应力分析是一个经典的问题,有很多研究者对薄膜/基体结构的失配应力、曲率以及它们之间的关系进行了详尽的分析.本文给出了薄膜/基底结构在非均匀局部表面热载荷作用下的温度和应力分布的基本解,并得到了广义Stoney公式来描述薄膜/基底结构在非均匀温度下的应力和曲率之间的关系.
在固體力學領域,薄膜/基體結構的應力分析是一箇經典的問題,有很多研究者對薄膜/基體結構的失配應力、麯率以及它們之間的關繫進行瞭詳儘的分析.本文給齣瞭薄膜/基底結構在非均勻跼部錶麵熱載荷作用下的溫度和應力分佈的基本解,併得到瞭廣義Stoney公式來描述薄膜/基底結構在非均勻溫度下的應力和麯率之間的關繫.
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