现代应用物理
現代應用物理
현대응용물리
Modern Applie Physics
2015年
2期
138-143
,共6页
韩超%张玉明%宋庆文%张义门%汤晓燕
韓超%張玉明%宋慶文%張義門%湯曉燕
한초%장옥명%송경문%장의문%탕효연
4H-SiC%PIN二极管%正向直流特性%数值仿真%各向异性迁移率
4H-SiC%PIN二極管%正嚮直流特性%數值倣真%各嚮異性遷移率
4H-SiC%PIN이겁관%정향직류특성%수치방진%각향이성천이솔
对制造的单mesa终端4H-SiC PIN二极管,采用数值仿真和测试结果比对的方法,分析了各向异性迁移率效应对4H-SiC PIN二极管正向直流特性的影响.详细阐述了器件的正向直流仿真物理模型和参数选取,其中,迁移率的各向异性关系是在各向同性迁移率模型的基础上引入的,载流子寿命采用空间赋值的方法代入模型进行计算.对比结果显示,采用各向同性迁移率模型的仿真结果与实验值偏差较大,对迁移率模型进行各向异性修正后,仿真结果与实验结果符合得较好.研究表明,实际制造的4H-SiC PIN二极管在直流开态下,存在迁移率的各向异性效应.
對製造的單mesa終耑4H-SiC PIN二極管,採用數值倣真和測試結果比對的方法,分析瞭各嚮異性遷移率效應對4H-SiC PIN二極管正嚮直流特性的影響.詳細闡述瞭器件的正嚮直流倣真物理模型和參數選取,其中,遷移率的各嚮異性關繫是在各嚮同性遷移率模型的基礎上引入的,載流子壽命採用空間賦值的方法代入模型進行計算.對比結果顯示,採用各嚮同性遷移率模型的倣真結果與實驗值偏差較大,對遷移率模型進行各嚮異性脩正後,倣真結果與實驗結果符閤得較好.研究錶明,實際製造的4H-SiC PIN二極管在直流開態下,存在遷移率的各嚮異性效應.
대제조적단mesa종단4H-SiC PIN이겁관,채용수치방진화측시결과비대적방법,분석료각향이성천이솔효응대4H-SiC PIN이겁관정향직류특성적영향.상세천술료기건적정향직류방진물리모형화삼수선취,기중,천이솔적각향이성관계시재각향동성천이솔모형적기출상인입적,재류자수명채용공간부치적방법대입모형진행계산.대비결과현시,채용각향동성천이솔모형적방진결과여실험치편차교대,대천이솔모형진행각향이성수정후,방진결과여실험결과부합득교호.연구표명,실제제조적4H-SiC PIN이겁관재직류개태하,존재천이솔적각향이성효응.
