科技创新与应用
科技創新與應用
과기창신여응용
Technology Innovation a
2015年
31期
47-47
,共1页
直拉法%悬浮区熔法%单晶硅%生长
直拉法%懸浮區鎔法%單晶硅%生長
직랍법%현부구용법%단정규%생장
文章主要针对当前单晶硅生长技术进行了分析综述。并针对磁场直拉、改良热场、磁场直拉以及真空高阻、氧浓度控制等技术展开了研究。
文章主要針對噹前單晶硅生長技術進行瞭分析綜述。併針對磁場直拉、改良熱場、磁場直拉以及真空高阻、氧濃度控製等技術展開瞭研究。
문장주요침대당전단정규생장기술진행료분석종술。병침대자장직랍、개량열장、자장직랍이급진공고조、양농도공제등기술전개료연구。
