北京师范大学学报(自然科学版)
北京師範大學學報(自然科學版)
북경사범대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF BEIJING NORMAL UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE)
2002年
5期
628-631
,共4页
高能离子注入靶室%双机械扫描%10 cm(4 in) Si片%注量控制
高能離子註入靶室%雙機械掃描%10 cm(4 in) Si片%註量控製
고능리자주입파실%쌍궤계소묘%10 cm(4 in) Si편%주량공제
通过更换丝杠和更新电机控制系统增大了靶盘纵向扫描范围,解决了扫描过程中纵向电机经常停转问题,并使靶室可装载10 cm(4 in)片子;通过隔离外界干扰电信号、精确控制扫描面积和对二次电子抑制电极的改进使注量测量误差达到了实验要求.
通過更換絲槓和更新電機控製繫統增大瞭靶盤縱嚮掃描範圍,解決瞭掃描過程中縱嚮電機經常停轉問題,併使靶室可裝載10 cm(4 in)片子;通過隔離外界榦擾電信號、精確控製掃描麵積和對二次電子抑製電極的改進使註量測量誤差達到瞭實驗要求.
통과경환사강화경신전궤공제계통증대료파반종향소묘범위,해결료소묘과정중종향전궤경상정전문제,병사파실가장재10 cm(4 in)편자;통과격리외계간우전신호、정학공제소묘면적화대이차전자억제전겁적개진사주량측량오차체도료실험요구.
