现代电子技术
現代電子技術
현대전자기술
MODERN ELECTRONICS TECHNIQUE
2007年
2期
182-183,191
,共3页
室温%锑化铟%探测器%高灵敏度
室溫%銻化銦%探測器%高靈敏度
실온%제화인%탐측기%고령민도
通过对室温工作的光导型锑化铟红外探测器的设计与工艺研究,在理论分析和工艺实验的基础上,优选制造灵敏元的材料,精心设计探测器的光学系统,改进制造工艺,实现对灵敏元精密腐蚀的有效控制等.研制成功的电压响应率达103 V/W,黑体探测率达1010 cm·Hz1/2·W-1左右,光谱响应范围2～8 μm,响应时间≤2×10-8 s的高性能、高稳定、高可靠器件.
通過對室溫工作的光導型銻化銦紅外探測器的設計與工藝研究,在理論分析和工藝實驗的基礎上,優選製造靈敏元的材料,精心設計探測器的光學繫統,改進製造工藝,實現對靈敏元精密腐蝕的有效控製等.研製成功的電壓響應率達103 V/W,黑體探測率達1010 cm·Hz1/2·W-1左右,光譜響應範圍2～8 μm,響應時間≤2×10-8 s的高性能、高穩定、高可靠器件.
통과대실온공작적광도형제화인홍외탐측기적설계여공예연구,재이론분석화공예실험적기출상,우선제조령민원적재료,정심설계탐측기적광학계통,개진제조공예,실현대령민원정밀부식적유효공제등.연제성공적전압향응솔체103 V/W,흑체탐측솔체1010 cm·Hz1/2·W-1좌우,광보향응범위2～8 μm,향응시간≤2×10-8 s적고성능、고은정、고가고기건.
