计算机工程与应用
計算機工程與應用
계산궤공정여응용
COMPUTER ENGINEERING AND APPLICATIONS
2006年
35期
222-225
,共4页
晶圆制造%赋时Petri网%建模%性能分析
晶圓製造%賦時Petri網%建模%性能分析
정원제조%부시Petri망%건모%성능분석
晶圆制造是半导体制造过程中的一个重要环节,晶圆制造单元的性能直接影响晶圆制造的成本.为了有效地分析晶圆制造单元的动态性能,分别对加工设备存在瓶颈和搬运机器人存在瓶颈的两种情况,进行了赋时Petri网建模研究,建立了晶圆制造单元的赋时Petri网模型.在此基础上,进行了稳态生产率分析,同时用实例验证了模型的有效性和实用性.
晶圓製造是半導體製造過程中的一箇重要環節,晶圓製造單元的性能直接影響晶圓製造的成本.為瞭有效地分析晶圓製造單元的動態性能,分彆對加工設備存在瓶頸和搬運機器人存在瓶頸的兩種情況,進行瞭賦時Petri網建模研究,建立瞭晶圓製造單元的賦時Petri網模型.在此基礎上,進行瞭穩態生產率分析,同時用實例驗證瞭模型的有效性和實用性.
정원제조시반도체제조과정중적일개중요배절,정원제조단원적성능직접영향정원제조적성본.위료유효지분석정원제조단원적동태성능,분별대가공설비존재병경화반운궤기인존재병경적량충정황,진행료부시Petri망건모연구,건립료정원제조단원적부시Petri망모형.재차기출상,진행료은태생산솔분석,동시용실례험증료모형적유효성화실용성.
