中国科技信息
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중국과기신식
CHINA SCIENCE AND TECHNOLOGY INFORMATION
2007年
13期
63-64
,共2页
PZT换能器%ANSYS%有限元%谐响应%多普勒测速仪
PZT換能器%ANSYS%有限元%諧響應%多普勒測速儀
PZT환능기%ANSYS%유한원%해향응%다보륵측속의
超声换能器是超声键合装备的一个重要组成部分,芯片的键合质量与超声换能器的响应有着非常密切的关系.本文通过有限元分析软件ANSYS进行建模,获得换能系统谐响应曲线,并利用多普勒测速仪验证有限元分析的结果.
超聲換能器是超聲鍵閤裝備的一箇重要組成部分,芯片的鍵閤質量與超聲換能器的響應有著非常密切的關繫.本文通過有限元分析軟件ANSYS進行建模,穫得換能繫統諧響應麯線,併利用多普勒測速儀驗證有限元分析的結果.
초성환능기시초성건합장비적일개중요조성부분,심편적건합질량여초성환능기적향응유착비상밀절적관계.본문통과유한원분석연건ANSYS진행건모,획득환능계통해향응곡선,병이용다보륵측속의험증유한원분석적결과.
