中国科技信息
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중국과기신식
CHINA SCIENCE AND TECHNOLOGY INFORMATION
2008年
20期
38-39
,共2页
肖慧%徐哈宁%朱昌%吴祁国
肖慧%徐哈寧%硃昌%吳祁國
초혜%서합저%주창%오기국
Zno薄膜%磁控溅射%折射率%电阻率
Zno薄膜%磁控濺射%摺射率%電阻率
Zno박막%자공천사%절사솔%전조솔
采用磁控溅射法镀制ZnO薄膜,通过椭偏仪和四探针测试仪分析了氧气浓度对薄膜光电性能的影响.结果表明:随着氧分压的增加,薄膜折射率呈变大的趋势,电阻率升高,导电性能降低.
採用磁控濺射法鍍製ZnO薄膜,通過橢偏儀和四探針測試儀分析瞭氧氣濃度對薄膜光電性能的影響.結果錶明:隨著氧分壓的增加,薄膜摺射率呈變大的趨勢,電阻率升高,導電性能降低.
채용자공천사법도제ZnO박막,통과타편의화사탐침측시의분석료양기농도대박막광전성능적영향.결과표명:수착양분압적증가,박막절사솔정변대적추세,전조솔승고,도전성능강저.
