科技信息
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과기신식
SCIENTIFIC & TECHNICAL INFORMATION
2011年
23期
461,747
,共2页
曾永平%陶淑芬%徐利兵%杨红磊
曾永平%陶淑芬%徐利兵%楊紅磊
증영평%도숙분%서리병%양홍뢰
热蒸发镀膜法%ZnO薄膜%退火处理%晶体结构
熱蒸髮鍍膜法%ZnO薄膜%退火處理%晶體結構
열증발도막법%ZnO박막%퇴화처리%정체결구
本文采用低真空热蒸发技术,以锌作为蒸发源,通过调节蒸发时间,蒸发温度,真空度等工艺参数,在玻璃基底上获得薄膜样品,再对薄膜进行退火处理.实验结果表明:采用低真空蒸发镀膜法可以制备得到取向很好的Zn(002)单晶薄膜,薄膜样品在450C真空条件下做退火处理后,进一步提高金属锌膜薄膜单晶性;样品经300℃大气下退火处理后,可得取向(101)的强织构ZnO结构.
本文採用低真空熱蒸髮技術,以鋅作為蒸髮源,通過調節蒸髮時間,蒸髮溫度,真空度等工藝參數,在玻璃基底上穫得薄膜樣品,再對薄膜進行退火處理.實驗結果錶明:採用低真空蒸髮鍍膜法可以製備得到取嚮很好的Zn(002)單晶薄膜,薄膜樣品在450C真空條件下做退火處理後,進一步提高金屬鋅膜薄膜單晶性;樣品經300℃大氣下退火處理後,可得取嚮(101)的彊織構ZnO結構.
본문채용저진공열증발기술,이자작위증발원,통과조절증발시간,증발온도,진공도등공예삼수,재파리기저상획득박막양품,재대박막진행퇴화처리.실험결과표명:채용저진공증발도막법가이제비득도취향흔호적Zn(002)단정박막,박막양품재450C진공조건하주퇴화처리후,진일보제고금속자막박막단정성;양품경300℃대기하퇴화처리후,가득취향(101)적강직구ZnO결구.
