科技信息
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과기신식
SCIENTIFIC & TECHNICAL INFORMATION
2010年
32期
101
,共1页
电阻率%四探针%测量
電阻率%四探針%測量
전조솔%사탐침%측량
电阻率是描述半导体材料性能的重要参数之一,四探针技术是测量半导体材料电阻率的主要手段.本文对四探针技术测量半导体薄层电阻的重要性进行了分析,结合常用的四探针测量技术探讨半导体电阻率的测量方法,重点讨论直线四探针技术和矩形四探针技术,对比了常用的几种四探针技术的优劣.
電阻率是描述半導體材料性能的重要參數之一,四探針技術是測量半導體材料電阻率的主要手段.本文對四探針技術測量半導體薄層電阻的重要性進行瞭分析,結閤常用的四探針測量技術探討半導體電阻率的測量方法,重點討論直線四探針技術和矩形四探針技術,對比瞭常用的幾種四探針技術的優劣.
전조솔시묘술반도체재료성능적중요삼수지일,사탐침기술시측량반도체재료전조솔적주요수단.본문대사탐침기술측량반도체박층전조적중요성진행료분석,결합상용적사탐침측량기술탐토반도체전조솔적측량방법,중점토론직선사탐침기술화구형사탐침기술,대비료상용적궤충사탐침기술적우렬.
