对微机电系统发展趋势和面临挑战的思考
대미궤전계통발전추세화면림도전적사고
Consideration about the Developing Trend of and the Challenges Faced by the Micro Electromechanical Systems (MEMS)
  • 万方数据
    科技情报开发与经济 과기정보개발여경제
    SCI/TECH INFORMATION DEVELOPMENT & ECONOMY
    2006年 24期 180-181 ,共2页

    张栋

    장동

    前沿学科%微机电系统%发展趋势 前沿學科%微機電繫統%髮展趨勢
    전연학과%미궤전계통%발전추세
    近年来,微机电系统在技术进步和应用数量上有了长足的发展.介绍了微机电系统的特点,分析了微机电系统的发展趋势,对微机电系统面临的挑战进行了探讨.
    근년래,미궤전계통재기술진보화응용수량상유료장족적발전.개소료미궤전계통적특점,분석료미궤전계통적발전추세,대미궤전계통면림적도전진행료탐토.
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