现代电子技术
現代電子技術
현대전자기술
MODERN ELECTRONICS TECHNIQUE
2012年
8期
175-178
,共4页
埋栅型SIT%台面刻蚀%深槽刻蚀%先台后槽
埋柵型SIT%檯麵刻蝕%深槽刻蝕%先檯後槽
매책형SIT%태면각식%심조각식%선태후조
对埋栅型SIT,为切断栅极和源极(或阴极)之间在外延过程中形成的连体,打开栅电极区,进行外延后的台面刻蚀,对台面刻蚀的深度和形状进行研究;为消除栅墙外划片边界造成的各种寄生效应,在有源区的外面挖深槽,以保证栅源击穿发生在内部、实现击穿接近理论值.对先刻蚀台面还是先刻蚀槽的问题做了实验对比,结果发现先台后槽更有利于器件特性的改善.
對埋柵型SIT,為切斷柵極和源極(或陰極)之間在外延過程中形成的連體,打開柵電極區,進行外延後的檯麵刻蝕,對檯麵刻蝕的深度和形狀進行研究;為消除柵牆外劃片邊界造成的各種寄生效應,在有源區的外麵挖深槽,以保證柵源擊穿髮生在內部、實現擊穿接近理論值.對先刻蝕檯麵還是先刻蝕槽的問題做瞭實驗對比,結果髮現先檯後槽更有利于器件特性的改善.
대매책형SIT,위절단책겁화원겁(혹음겁)지간재외연과정중형성적련체,타개책전겁구,진행외연후적태면각식,대태면각식적심도화형상진행연구;위소제책장외화편변계조성적각충기생효응,재유원구적외면알심조,이보증책원격천발생재내부、실현격천접근이론치.대선각식태면환시선각식조적문제주료실험대비,결과발현선태후조경유리우기건특성적개선.
